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高純氣體要更加注意管道系統(tǒng)的材料選擇和施工質(zhì)量

信息來源：www.2pvn9.cn | 發(fā)布時間：2024年09月25日

  高純氣體管道的所有高純度、高清潔氣體都要通過管道輸送到儀器用點(diǎn)(POU)，為了滿足儀器的質(zhì)量要求，在出口指標(biāo)一定的情況下，武漢工業(yè)氣體廠家介紹液態(tài)氣體要更加注意管道系統(tǒng)的材料選擇和施工質(zhì)量。根據(jù)燃?xì)饣騼艋O(shè)備的精度，管道系統(tǒng)的各種因素受到很大影響，因此管道的選擇須符合相關(guān)產(chǎn)業(yè)原則，并標(biāo)明管道材料。

  高純氣體的管道輸送將其送到燃?xì)獾辏３仲|(zhì)量合格的關(guān)鍵是燃?xì)庀到y(tǒng)設(shè)計合理，配件選擇與施工安裝正確，通過了檢測。高純氣體輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝過程中對氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒物含量等的要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。

  例如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，由于生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工細(xì)致，不僅有干凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體有著具體而嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微米(小于O.35g.m)技術(shù)對氣體的雜質(zhì)含量和含水量要求非常嚴(yán)格，因此管道材料特性適應(yīng)高純和高純氣體的要求是必要的。

  1、管道材料屬性

  在輸送高天然氣管道方面，影響氣體質(zhì)量的管材材料的主要特點(diǎn)是氣體滲透性、火器率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、耐蝕性。
  2、氣體滲透性

  氣體通過物料從高壓(或分壓)側(cè)流向低壓(或分壓)側(cè)的現(xiàn)象，成為氣體滲透。由于空氣中氧氣和氮?dú)獾姆謮捍?，氣體分子相對較小，所以管道材料的氣體滲透率主要表現(xiàn)為氧氣和氮?dú)獾臐B透率，一般氧氣滲透率測試很多。對于輸送純度在ppm級以上的氣體，從氣體滲透的角度考慮，應(yīng)使用不銹鋼管或鋼管。如果我們不當(dāng)選擇不合格的管道材料，無論我們采取什么凈化措施，都無濟(jì)于事。

  3、出氣速率

  材料冶煉過程中形成的管材晶間或晶格內(nèi)部有高純氣體運(yùn)輸過程中緩慢釋放并污染高純氣體的雜質(zhì)。特別是雜質(zhì)需要ppb以上的高純氣體。通常低碳不銹鋼管道的花期很低。

  4、吸附性

  水分等雜質(zhì)是極性分子，所以吸附性很強(qiáng)。橡膠、塑料或某些表面粗糙的材料容易吸附水分等雜質(zhì)，銅對水的吸附性很強(qiáng)，使用這些物質(zhì)輸送高純氣體容易污染。除了輸送ppm級以下的氧氣外，使用銅管外，高純氣體不使用銅管和塑料管。

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