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高純氣體管道設(shè)計(jì)要點(diǎn)主要包括七個(gè)方面

信息來(lái)源：www.2pvn9.cn | 發(fā)布時(shí)間：2020年05月30日

高純氣體管道設(shè)計(jì)要點(diǎn)主要包括七個(gè)方面：湖北高純氣體廠家中原海常年從事高純氣體批發(fā)，對(duì)此深有心得。

（1）對(duì)不同性質(zhì)的天然氣，要規(guī)劃一個(gè)獨(dú)立的供氣區(qū)，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/有毒性氣體、可燃性氣體、惰性氣體區(qū)域，將同一天然氣濃度加強(qiáng)管理和可燃?xì)怏w區(qū)，以專(zhuān)門(mén)規(guī)劃爆破墻和滲漏，如果空間不足，可以考慮。放置惰性氣體和有毒腐蝕性氣體區(qū)域。

（2）管道設(shè)計(jì)需要考慮運(yùn)輸距離，距離越長(zhǎng)，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)越大，通常設(shè)計(jì)流量越合理，20 mL/s，可燃?xì)怏w小于10 mL/s，有毒/腐蝕性氣體小于8 mL/s，在使用中設(shè)計(jì)該方面，需要考慮使用對(duì)等壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者管徑通常指向使用的1/4“~3/8”。

（3） 根據(jù)燃?xì)庠O(shè)備的分布情況，高純?nèi)細(xì)夤芫W(wǎng)不宜過(guò)大或過(guò)長(zhǎng)，宜采用不封閉的環(huán)狀管道，在系統(tǒng)末端連續(xù)排放少量燃?xì)?，使管網(wǎng)中始終有高純度氣體循環(huán)，不會(huì)因“死區(qū)”而造成高純度氣體污染。

（4） 應(yīng)減少不流動(dòng)氣體在管道中的“死區(qū)”，且不應(yīng)是盲管，在專(zhuān)用儲(chǔ)氣罐和氣體設(shè)備之間應(yīng)設(shè)置吹掃閥控制裝置和控制裝置，用于控制吹掃閥的開(kāi)關(guān)順序和系統(tǒng)，以保證供氣系統(tǒng)的安全，可靠運(yùn)行，防止“死區(qū)”滯留污染物形成，降低氣體純度。

（5） 對(duì)于高純氣體純度要求不同的氣體設(shè)備，宜采用分級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)，也可采用同一級(jí)輸送系統(tǒng)，但在高純氣體設(shè)備附近設(shè)置終端氣體凈化裝置。

（6） 為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除應(yīng)配備必要的連續(xù)檢測(cè)儀器外，如水或氧雜質(zhì)含量測(cè)定儀等，還應(yīng)設(shè)置定期采樣的檢測(cè)取樣口，以便在規(guī)定的時(shí)間取樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。

（7） 在亞微米級(jí)集成電路生產(chǎn)中，要求提供10-9級(jí)高純氣體。為了保證末端氣體處理設(shè)備的氣體純度，應(yīng)提高氣體中的雜質(zhì)含量

（包括塵粒）控制在規(guī)定值內(nèi)，通常在裝置前設(shè)置終端凈化裝置或終端高精度氣體過(guò)濾器

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